財聯社（上海，記者 邱豪）訊，繼設備、材料等上游環節之后，大基金首度將目光瞄向了半導體零部件賽道。3月30日晚間，萬業企業公告稱，參股子公司浙江鐠芯將迎來大基金二期等的增資。有分析人士認為，受益于政府和行業的高度重視，作為卡脖子環節的半導體零部件，已初步形成國產化趨勢，迎來投資元年。

3月30日晚，萬業企業發布公告，大基金二期和裝備材料基金擬向萬業企業參股子公司浙江鐠芯增資3.9億元。增資完成后，萬業企業以29.63%的持股比例為浙江鐠芯第一大股東，大基金二期持有浙江鐠芯17.28%的股權，裝備材料基金將持有浙江鐠芯1.975%股權。

公開資料顯示，2020年12月，萬業企業聯合境內外投資人以浙江鐠芯和鐠芯控股為持股主體，完成對Compart Systems的收購，間接成為其第一大股東，后者為氣體輸送系統的龍頭供應商。為推進半導體核心零部件的國產化進程，公司于去年6月簽約海寧啟動Compart制造中心項目，總投資約30億元。

記者從萬業企業了解到，Compart目前在中國深圳和馬來西亞庫林各有一座工廠，具備高規格百級潔凈室，可提供具有高附加值的組件制造和一體化技術服務，已成為應用材料、Ichor、UCT等國際設備龍頭的核心供應商，并已打入國內半導體設備公司供應鏈。

而大基金此次將投資范圍延伸至零部件領域，則是因為本土廠商相對薄弱和其獨特重要性。

“零部件相比于設備整機而言市場規模不大，但確實是典型的以小制大的卡脖子環節。”芯謀研究總監王笑龍向記者表示，美國制裁中國晶圓制造企業，部分中國設備廠商也不得不屈從于美國禁令，其根源還是在關鍵零部件上依賴美國。

萬業企業方面告訴記者，當下本土零部件企業的技術能力、工藝水平、產品精度和可靠性差距較大，整體國產化率僅為10%-30%，尤其在Compart相關的流量控制領域，之前的國產化率幾乎為零。

“大部分零部件中國廠商都掌握基礎技術，只是暫時達不到半導體的標準，在有較強實力的客戶的帶動下并非沒有機會。國產Quartz、RF generator、Shower head、Edge ring、MFC、Ceramic等零部件，都已在晶圓線上廣泛驗證甚至是批量出貨，未來將進一步站穩市場，逐步擺脫對美依賴，只是時間各有長短而已。”王笑龍稱。

他認為，要解決半導體生產設備零部件卡脖子問題，首先需要國內晶圓廠和設備廠同時高度重視，協同本土零部件廠商聯合攻關。本土晶圓線要敢于給國產設備和零部件驗證機會，切實發揮大生產線組織協調的作用。設備原廠要發揮連接兩端的串聯作用，積極主動推進對國產零部件廠商的認證并推薦給客戶。

與此同時，海外企業的資金和技術資源也不可忽視。王笑龍表示，即使是國際設備巨頭，為便捷服務大陸生產線客戶，也在推動部分零部件的國產化。而在疫情的影響下，國際設備巨頭構建本土零部件供應鏈，以保障大陸客戶所需的積極性也大幅提升。相關部門在繼續支持國際設備巨頭在華發展的同時，應對其提出協助構建國產零部件供應鏈的要求或期望。

“目前，國內已經涌現出一批半導體零部件企業，如萬業企業通過參與收購Compart布局零部件業務，新萊應材與應用材料、Lam Research在真空系統領域長期合作，以及江豐電子、神工股份等。”中銀證券半導體首席分析師楊紹輝在相關研報中表示。他認為，作為卡脖子的關鍵技術關節，半導體零部件已受到政府和行業內的高度重視，而受益于零部件國產化率的提升及國內外半導體設備的高成長，今年將成為半導體零部件的投資元年。